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曝光区域(关于曝光区域介绍)-焦点速讯

来源:互联网    时间:2023-05-28 09:29:13


(资料图)

导读

1、 在光刻工艺中。

2、光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。

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